Епітаксія
процес нарощування на пластину (основу) монокристалічного шару епітаксійної плівки (ЕП), який повторює структуру пластини і її кристалографічну орієнтацію
процес нарощування на пластину (основу) монокристалічного шару епітаксійної плівки (ЕП), який повторює структуру пластини і її кристалографічну орієнтацію