Літографія
Літографія - різновид гравюри, процес формування рельєфного зображення топологічного шару ІМС в резистивному матеріалі з використанням шаблона і високоенергетичного випромінювання.
Літографія - різновид гравюри, процес формування рельєфного зображення топологічного шару ІМС в резистивному матеріалі з використанням шаблона і високоенергетичного випромінювання.