Мікролітографія
процес формування рельєфного зображення топологічного шару інтегрованої мікросхеми в резистивному матеріалі з використанням шаблона і високоенергетичного випромінювання
процес формування рельєфного зображення топологічного шару інтегрованої мікросхеми в резистивному матеріалі з використанням шаблона і високоенергетичного випромінювання