Фотолітографія
процес формування рельєфного зображення топологічного шару інтегральної мікросхеми в резистивному матеріалі з використанням фоторезисторів, які можуть бути позитивні або негативні
процес формування рельєфного зображення топологічного шару інтегральної мікросхеми в резистивному матеріалі з використанням фоторезисторів, які можуть бути позитивні або негативні